초순수 국산화…반도체 제조시설에 국내 최초 공급

국산 기술로 생산한 '반도체용 초순수'
설계·시공·운영 기술 100%
기자재 70% 국산화 성공

박재현 환경부 물관리정책실장이 9일 오전 에스케이(SK)실트론 구미 2공장에서 열린 '초순수 국산화 실증플랜트 통수식' 행사 후 참석자들과 함께 플랜트를 시찰하고 있다./환경부

'반도체'의 생명수로 불리는 초순수를 국산 기술로 생산해 반도체 제조 공정에 국내 최초로 공급한다. 그간 미국·일본 등 해외기업이 주도하던 초순수 시장에 국내기업이 진출할 수 있는 발판이 마련됐다는 평가다.

환경부는 9일 오전 경북 구미 소재 에스케이(SK)실트론 구미 2공장에서 '초순수 국산화 실증플랜트 통수식'을 개최했다. 환경부와 한국환경산업기술원은 초순수 생산기술을 국산화하기 위해 '고순도 공업용수 국산화 기술 개발 사업'을 지난 2021년 4월부터 추진해 왔다.

초순수는 불순물이 거의 없는 상태의 물이다. 반도체 표면의 각종 부산물과 오염물질 등을 세척하기 위해 사용된다. 반도체 산업 이외에도 의료·바이오, 화학, 이차전지, 디스플레이 등 현대의 첨단 산업에 사용되는 필수 자원이다. 초순수 시장은 일본이 거의 독점해왔는데, 일본 의존도를 탈피할 것으로 보인다.

게다가 초순수 시장 규모는 2021년 기준으로 국내 2조2000억원, 해외 28조원에 이른다. 2028년까지 국내 2조5000억원, 해외는 35조5000억원까지 성장할 것으로 전망되는데, 우리 기업의 해외 진출 기대감도 커졌다.

설계·시공 기술의 경우 초순수 플랜트는 한성크린텍이, 공급배관은 진성이앤씨가, 핵심 기자재의 경우 이온교환수지는 삼양사, 자외선 산화장치는 에코셋이, 탈기막은 세프라텍이 맡았다. 운영 기술은 한국수자원공사가 주도했다.

이 사업을 통해 SK실트론은 올해 12월부터 2025년까지 국산 기술로 생산된 초순수를 24시간 연속 공급해 실리콘카바이드(SiC) 웨이퍼를 생산하게 된다. 내년 사업 종료 이후에는 실증플랜트 운영이 SK실트론에 이관돼 웨이퍼 생산에 계속 활용하게 된다.

정부는 내년부터 2030년까지 후속 연구개발 사업을 진행하고 2031년엔 '초순수 플랫폼 센터'를 구축해 기술 확보와 인력 양성에 나선다.

박재현 환경부 물관리정책실장은 "초순수 생산기술 국산화 성공은 반도체 산업 육성의 든든한 토대가 될 것"이라며 "앞으로도 반도체 산업단지의 안정적인 용수 공급과 함께 초순수 생태계 활성화를 위한 국산 기술력 향상과 민간 기업의 시장 진출을 적극 지원할 것"이라고 말했다.